La contamination est-elle proportionnelle à la rugosité de la surface?

 

Dans la chaîne d'approvisionnement du fabricant néerlandais de machines à puces ASML, la pureté des pièces - la propreté - est une question importante depuis plusieurs années. Lors du récent Clean Event au Mikrocentrum mi-avril, on a présenté les résultats d'une étude portant sur la relation entre la rugosité de la surface et la propreté des pièces après le nettoyage.